Ảnh hưởng sức khỏe tiềm ẩn như được liệt kê trên  Bảng dữ liệu an toàn vật liệu Ozone  (MSDS):

Hít: Ozone gây khô miệng, ho và kích ứng mũi, họng và ngực. Nó có thể gây khó thở, đau đầu và mệt mỏi. Tuy nhiên, mùi tanh đặc trưng có thể dễ dàng phát hiện được ở nồng độ thấp (0,005 đến 0,02 ppm). 

Biện pháp khắc phục:  Di chuyển đến nơi có không khí trong lành, nới lỏng quần áo. Gọi chăm sóc y tế nếu cần thiết. 

Da: Không mong đợi sự hấp thụ qua da nguyên vẹn. 

Biện pháp khắc phục:  Rửa sạch da bằng xà phòng và nước.

Tiếp xúc với mắt: Ozone có thể là một chất gây kích ứng cho mắt, gây viêm nhẹ. 

Biện pháp khắc phục:  Rửa mắt bằng thuốc rửa mắt ít nhất 15 phút đồng thời giữ chặt mí mắt để đảm bảo toàn bộ bề mặt mắt được rửa sạch. Nếu kích ứng, đau hoặc các triệu chứng khác vẫn tiếp tục, hãy đến các trung tâm y tế gần nhất để kiểm tra.

Nuốt: Không phải là một con đường tiếp xúc.

Làm nặng thêm các bệnh đã có : Ozone có thể làm tăng độ nhạy cảm với các chất co thắt phế quản, bao gồm các chất gây dị ứng, đặc biệt là những người bị hen suyễn.

Để bảo vệ an toàn,  không nên dựa vào nhận thức cá nhân về mùi của ozone. Cần trang bị các dụng cụ đo nồng độ ozone chuyên nghiệp và thực hiện các chức năng an toàn sau:

- Khởi động tín hiệu báo động khi nồng độ ozone ngoài môi trường ở ngưỡng 0,1 ppm. Thiết bị có thể hoạt động nếu muốn.

- Bắt đầu tín hiệu báo động thứ hai ở khi nồng độ ozone ngoài môi trường lên tới 0,3 ppm. Tín hiệu này cũng sẽ tự động tắt máy phát ozone ngay lập tức. Phần lớn con người có thể ngửi thấy mùi ozone từ rất lâu trước khi nó nguy hiểm. Ngưỡng phát hiện mùi là 0,005-0,02 ppm.

Luôn có máy theo dõi nồng độ ozone khi sử dụng máy phát ozone công suất lớn.